반도체 장비 시설운영_1 <한국기술대학교 강좌>

과목 소개

클린룸의 설비환경에 대한 이론지식 습득과 유틸리티를 구성하는 설비장비들의 대한 실무적인 유지관리 방법 등과 관련된 내용을 3차원 콘텐츠로 학습할 수 있는 과정 입니다.

※ 본 과정은 반도체장비시설운영 과정을 2과정으로 나누어 운영하고 있으니, 수강신청에 유의해 주시기 바랍니다.

  1. 반도체장비시설운영_1

  2. 반도체장비시설운영_2

 

 

 

 

학습 목표

- CLASS별 클린품의 제원과 설비동작 패턴을 이해할 수 있다.

- 클린품 오작동 시 에러 사항을 해결할 수 있다.

- 유틸리티 시스템을 구성하는 모든 장비들의 특징을 이해하고 유지관리 할 수 있다.

- 화약약품의 종류와 특징을 이해하고 위험물질을 다루기 위한 필수 지침을 숙지 할 수 있다.

- 각종 테스터 장비(파티클 카운터, 소음계, 차압계 등)등을 다룰 수 있다.

 

 

 

학습목차

1회차_클린룸 개요 맛보기
2회차_클린룸 설비구조
3회차_클린룸 공조설비
4회차_클린룸 공조기
5회차_공조기 자동제어
6회차_클린룸 에어필터
7회차_클린룸 클린장치
8회차_클린룸 부속장치
9회차_공조기 유지관리
10회차_클린룸 운영관리
11회차_클린룸 공정실관리
12회차_클린룸 환경관리

 

---

 

 

---